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    MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

      MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

    MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、xx率、全水溶性的干膜光阻劑,可使用于內層和外層的應用。本產品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現。

    特色及優點

    高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

    xx的貼合度-高良率

    高附著力-高良率

    xx的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力

    特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

    項目
    單位
    MA312
    MA315
    備注
    厚度
    μm
    30
    38

    感度*1
    mj/cm2
    25
    30

    最短顯影時間
    sec.
    20
    25

    附著力*1*2(L/S=X/250)
    μm
    25
    30

    解析度*1*2(L/S=X/X)
    μm
    25
    30

    蓋孔孔徑
    μm
    //
    6.5

    *1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

    *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

    *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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