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        MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

          MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

        MP500 選化沉金系列干膜光阻劑特別針對高解析度線路,具有優秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應用于所有電鍍工藝,包括鍍金。

        特色及優點

        極好的耐堿性蝕刻性能

        高解析度

        較好地應用于圖形電鍍

        較好地應用于直接電鍍

        用于沉金電鍍工藝過程

        蓋孔能力優異

        鍍金性能可達100μin

        項目
        單位
        MP515
        MP520
        備注
        厚度
        μm
        40
        50

        感度*1
        mj/cm2
        70
        90

        最短顯影時間
        sec.
        45
        55

        附著力*1*2(L/S=X/250)
        μm
        40
        50

        解析度*1*2(L/S=X/X)
        μm
        30
        40

        蓋孔孔徑
        μm
        6.0
        7.0

        *1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

        *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

        *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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